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首先區分一下氣氣體質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)家(MFC)與氣體質(zhì)量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。
MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě),即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉的管內流動(dòng)時(shí)會(huì )對管壁產(chǎn)生一個(gè)力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時(shí)發(fā)現的,簡(jiǎn)稱(chēng)科氏力。
氣體質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)家可分為兩類(lèi):一類(lèi)是直接式,即直接輸出質(zhì)量流量;另一類(lèi)為間接式或推導式,如應用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進(jìn)行乘法運算以得出質(zhì)量流量。
直接式質(zhì)量流量計 直接式質(zhì)量流量計有多種類(lèi)型,如量熱式、角動(dòng)量式、陀螺式和雙葉輪式等。
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